| 序號 | 項目 | 規(guī)格 |
| 1 | Material 材料 | High Purity Monocystalline Al?O? (≥99.996%) |
| 2 | Orientation 表面晶向 Cto M | C-plane(0001) off to M-plane (1100) 0.2±0.1°; 0°± 0.1°(A-axis) |
| 3 | Orientation 表面晶向 C to A | 0.00±0.1° |
| 4 | Primary Flat to 主定位邊晶向A-plane（11-20） | A-plane ± 0.2° |
| 5 | Diameter 直徑 | 50.8±0.1mm, 100±0.1mm, 150±0.2mm |
| 6 | Thickness 厚度 | 420~440um, 640-660um，1300mm |
| 7 | Flat Length 平邊寬 | 16±1.0mm, 30±1.0mm, 47.5±1.5mm |
| 8 | Edge profile 倒邊 | R倒角 |
| 9 | TTV | ≤5um |
| 10 | BOW | 0~-10um |
| 11 | Warp | ≤15um |
| 12 | Front Side Roughness 正面粗糙度 | ＜0.3nm |
| 13 | LTV | ≤1.8um |
| 14 | R向（r-plane） | R9 |
| 15 | Back Side Roughness 背面粗糙度 | 0.8-1.2um |
| 16 | Laser Mark 激光標記 | 背面打碼/Back side |
| 17 | Package 包裝 | 25 片/盒，25 pcs/cassette |
