OHARA高質(zhì)量石英玻璃
| Diameter |
2" |
3" |
4" |
5" |
6" |
8" |
| Material |
石英玻璃 |
| Grade |
SK-1300, SK-1310, SK-1320L, SK-1321, SK-1321L, SK-1322, SK-1322L |
| Thickness (um) |
279 |
280 |
525 |
625 |
675 |
725 |
| Surface Finished |
DSP/SSP |
| TTV (um) |
<8 |
<10 |
<10 |
<10 |
<15 |
<20 |
| Bow/Warp (um) |
<30 |
<30 |
<40 |
<40 |
<60 |
<60 |
| Top Side Ra (nm) |
<1 |
| S/D (um) |
40/20 |
由于對光纖制造技術(shù)的傳統(tǒng)VAD（氣相軸向沉積）方法進(jìn)行了重大改進(jìn)，成功開發(fā)了合成熔融石英SK-1300系列。 與傳統(tǒng)直接法相比，SK-1300系列純度極高，OH含量低得多，因此它是第一種可用于半導(dǎo)體和液晶顯示行業(yè)的合成熔融石英。
SK-1300系列在光學(xué)特性方面是最先進(jìn)的技術(shù)，因為它提供了很高的分辨率紫外線透射，無微夾雜，耐日曬，此外還具有耐熱性、機(jī)械強(qiáng)度和耐化學(xué)性。 這些產(chǎn)品可用于半導(dǎo)體、光學(xué)和所有物理或化學(xué)相關(guān)研究的各種工業(yè)應(yīng)用。
可用于： 各種器件的晶片，如TFT（多晶硅薄膜晶體管LCD）、SOI（絕緣硅）等；超大規(guī)模集成電路和液晶顯示器用光掩模基板；ULSI制造工藝用反應(yīng)器爐管、夾具和工具；放電管；用于紫外和真紫外的光學(xué)元件，透鏡，反射鏡，窗口。
產(chǎn)品特點
1. 超高純度（總金屬雜質(zhì)小于0.5ppm)；
2. OH含量可控制在1 ppm或以下（(SK-1310）；
3. 確保高耐熱性；
4. 實現(xiàn)高傳輸(SK-1310在紫外線、可見光和紅外的整個波長范圍內(nèi)都具有優(yōu)異的特性)；
5. 不含氣泡或條紋；
6. 優(yōu)異的抗激光性能
